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压电加速度传感器的工艺
编辑:秦皇岛市信恒电子科技有限公司   时间:2021-04-25

  压电加速度传感器又称压电加速度计。它也属于惯性式传感器。它是应用某些物质如石英晶体的压电效应,在加速度计受振时,质量块加在压电元件上的力也随之变化。当被测振动频率远低于加速度计的固有频率时,则力的变化与被测加速度成正比。

  压电加速度计属发电型传感器,可把它看成电压源或电荷源,故灵敏度有电压灵敏度和电荷灵敏度两种表示方法。前者是加速度计输出电压与所承受加速度之比;后者是加速度计输出电荷与所承受加速度之比。加速度单位为m/s2,但在振动丈量中常常用标准重力加速度g作单位,1g=9.80665m/s2。这是一种已为大家所接受的表示方式,几乎一切测振仪器都用g作为加速度单位并在仪器的板面上和说明书中标出。

  对给定的压电材料而言,灵敏度随质量块的增大或压电元件的增加而增大。普通来说,加速度计尺寸越大,其固有频率越低。因此选用加速度计时应当权衡灵敏度和结构尺寸、附加质量的影响和频率响应特性之间的利害。

  压电晶体加速度计的横向灵敏度表示它对横向(垂直于加速度计轴线)振动的敏感程度,横向灵敏度常以主灵敏度(即加速度计的电压灵敏度或电荷灵敏度)的百分比表示。普通在壳体上用小红点标出小横向灵敏度方向,一个加速度计的横向灵敏度应小于主灵敏度的3%。因此,压电式加速度计在测试时具有明显的方向性。